前級(jí)泵是用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片泵或滑閥泵就是前級(jí)泵。　
　　
　　前級(jí)泵的用途：　
　　
　　前級(jí)泵這個(gè)名詞在真空機(jī)組中見(jiàn)的比較多，主要是幫助主泵羅茨真空泵啟動(dòng)。羅茨真空泵一般情況下不能在常壓下啟動(dòng)，如果要啟動(dòng)電機(jī)功率相當(dāng)大，而且對(duì)泵的運(yùn)行有傷害。通過(guò)配用不同的前級(jí)泵可以運(yùn)用到不同的環(huán)境。如配用水環(huán)式真空泵，就可以抽除含有大量可凝性蒸氣和帶有一定腐蝕性的氣體（通過(guò)水稀釋腐蝕性氣體濃度）。目前常見(jiàn)的前級(jí)泵有：水環(huán)式真空泵、旋片式真空泵，立式無(wú)油真空泵、往復(fù)式真空泵、H、2H滑閥式真空泵等。通過(guò)選用不同的前級(jí)泵可以得到不同的真空度和抽氣速率。