（1）油箱里存油少，油位太低，可加入清潔的真空泵油至油標中心。

    （2）真空泵油為可凝性蒸汽所污染，真空度下降，可開氣鎮凈化或改換新油。

    （3）泵口外接管道、容器、試驗儀表管道等漏氣，應找出漏氣部位，進行消除。

    （4）進氣口或氣鎮閥橡膠密封圈裝配不妥，損壞或老化，應調解或改換。

    （5）進氣口油孔擁塞，導致真空度下降。可先放油，拆下油箱，松開油咀壓板，撥出進油咀，疏通油孔。

    （6）真空系統嚴重污染，包括容器、管道等應于清洗。

    （7）旋片彈簧折斷應于調換彈。

    （8）旋片、泵身或銅襯磨損，間隙過大，應進行檢查、維修或調換。

    （9）真空泵溫度過高。這不單使油粘度下降，飽以及蒸汽壓升高，還有可能造成泵油裂解。應改善通氣以及冷卻，