1、油擴散泵的概述：
    油擴散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似，也是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達到抽真空的目的，所以會有水蒸汽噴射泵相似的特點。不一樣的一點是擴散泵工作在高真空區域，是獲得高真空的主要設備。其工作壓強范圍為10-2～10-6pa。廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗和對油污染不敏感的一些真空系統中。

    4、結構和擴散泵工作原理
    油擴散泵主要由泵體、擴散噴嘴、蒸氣導管、油鍋、加熱器、擴散器、冷卻系統和噴射噴嘴等部分組成（見圖）。當油擴散泵用前級泵預抽到低于1帕真空時,油鍋可開始加熱。沸騰時噴嘴噴出高速的蒸氣流，熱運動的氣體分子擴散到蒸氣流中，與定向運動的油蒸氣分子碰撞。氣體分子因此而獲得動量，產生和油蒸氣分子運動方向相同的定向流動。到前級，油蒸氣被冷凝，釋出氣體分子，即被前級泵抽走而達到抽氣目的。

    真空泵油的蒸氣壓力直接影響到泵的真空性能。但是油擴散泵所用的任何泵油，都是蒸氣壓不同的多組分的混合物。因此，要提高油擴散泵的抽氣和真空性能，泵在工作中自身還要對泵油進行分餾和凈化。分餾目的是使高蒸氣壓組分的油不進入高真空工作噴嘴（高真空端的噴嘴）；凈化目的是使高蒸氣壓組分的油在工作過程中不斷為前級泵所抽除，使真空油逐漸趨于純凈。

    擴散泵油被電爐加熱的時候，產生油蒸氣順著導流管經過傘形噴嘴向下面噴出。因為噴嘴外面有機械泵提供的真空（Pa），故油蒸氣流可噴出一長段距離，構成一個向出氣口方向運動的射流。射流最后碰上由冷卻水冷卻的泵壁凝結為液體流回蒸發器，即靠油的蒸發 噴射 凝結重復循環來實現抽氣。由進氣口進入泵內的氣體分子一旦落入蒸氣流中便獲得向下運動的動量向下飛去。由于射流具有高流速（約200m/s），高的蒸氣密度，且擴散泵油分子量大（300～500），故能有效地帶走氣體分子。氣體分子被帶往出口處再由機械泵抽走。

    6、油擴散泵的維護和保養
    （1）油擴散泵安裝時要垂直放置，使泵內泵芯部件處于正常工作狀態。各橡膠密封處應密封可靠。
    （2）油擴散泵加熱前必須保證冷卻水暢通，泵內處于約1帕的真空狀態下才可以加熱。
    （3）油擴散泵停止工作時，泵內應避免放入大氣，以延長泵油壽命并減少泵油的吸氣量，特別應禁止泵剛停止工作尚未冷卻就放入大氣，以免泵油氧化。
    （4）油擴散泵長期存放，最好抽成真空，以防止泵油污染和各零件腐蝕，并應吹凈冷卻水管和水套的余水。
    （5）被抽氣體應是干燥，無腐蝕，無灰塵的室溫狀態下的氣體。
    （6）泵正常工作時性能突然變壞，應檢查加熱器是否短路、斷路，以及三相電流是否平衡。
    （7）在長期工作后，泵性能逐漸變壞，應檢查油量是否減少或氧化，以便增添油量或清洗后烘干換新油。
    （8）一次裝卸后，如果性能還是上不去，就要檢查是否密封可靠或者裝配不當。
    （9）在操作過程中，應注意擴散泵的前級機械泵的工作是否正常，一般機械泵的極限壓力應比泵前級壓力低于一個數量級，當機械泵性能變壞后直接影響油擴散泵的正常工作。
    （10）對用泵芯采用拉申旋壓形成的中小型泵，第一級噴嘴帽輕輕旋緊，應防泵芯受重壓變形。