先由轉(zhuǎn)動真空泵把系統(tǒng)抽到10-2Pa擴散泵油被加熱沸騰，以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統(tǒng)內(nèi)氣體分子帶到泵的側(cè)臂彎管球泡處集結，待氣體密度達到機械真空泵的工作范圍而被抽出，從而逐漸獲得高真空。

   擴散泵油被電爐加熱的時候，產(chǎn)生油蒸氣順著導流管經(jīng)過傘形噴嘴向下面噴出。因為噴嘴外面有機械泵提供的真空（Pa），故油蒸氣流可噴出一長段距離，構成一個向出氣口方向運動的射流。射流最后碰上由冷卻水冷卻的泵壁凝結為液體流回蒸發(fā)器，即靠油的蒸發(fā) 噴射 凝結重復循環(huán)來實現(xiàn)抽氣。由進氣口進入泵內(nèi)的氣體分子一旦落入蒸氣流中便獲得向下運動的動量向下飛去。由于射流具有高流速（約200m/s），高的蒸氣密度，且擴散泵油分子量大（300～500），故能有效地帶走氣體分子。氣體分子被帶往出口處再由機械泵抽走。